电子级超纯水的电阻率标准通常要求在 25℃时达到 18.2 MΩ・cm（兆欧・厘米）及以上。

在电子工业，尤其是半导体芯片制造等对水质要求极高的领域，这种高电阻率的超纯水可最大限度减少水中杂质离子对电子元件制造工艺的影响。因为水中的离子杂质可能会导致半导体芯片短路、降低电路性能等问题，所以需要如此高纯度的水来保障生产的顺利进行和产品质量。